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德國Physik Instrumente(PI)線性執行器

    

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品牌Physik Instrumente 有效期至長期有效 最后更新2020-08-25 13:14
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德國Physik Instrumente(PI)線性執行器

劉亞冰
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 德國Physik Instrumente(PI)線性執行器
&&適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執行器
適用于高循環數
適用于真空的L-220 V6高分辨率線性執行器
產品描述技術指標資料下載報價/訂購
適用于高達10-6 hPa的真空
力至125 N
26毫米(1英寸)行程范圍
步進電機
參考級直線驅動器
結合了高精度,高作用力和高動態性。具有齒輪比的高性能,低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以進行精確定位。
 
減少放氣,特別是在真空環境下使用
最顯著的是,為了潤滑導向裝置和驅動螺桿,使用了排氣量極低的材料。因此,烘烤溫度可達到80°C。通過對PI V6真空等級的這種和其他修改,該定位器的使用時間可達10 -6  hPa。
 
優質組件
滾珠絲杠,送紙順暢。非旋轉尖端可確保均勻運動,從而防止在接觸點出現擺動,扭矩和磨損。含稅 平面和球形尖端可消除耦合力。非接觸式限位開關可保護機械性能。方向感應參考開關支持自動化應用。
 
應用領域
真空室。研究。Beamline儀表。顯微鏡檢查。電子組裝和檢查。
 
 
 
 
 
 
&&A-68x PIglide RLA旋轉平臺,帶空氣軸承,大孔徑
無摩擦,電動
A-68x PIglide RLA旋轉平臺,帶空氣軸承,大孔徑
產品描述技術指標資料下載報價/訂購
直徑365毫米的運動平臺,直徑260毫米的光圈
低調
偏心和平整度<300 nm
產品總覽
PIglide RLA系列的直接驅動平面旋轉平臺設計為具有的精度。它們外形小巧,通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度,平坦度和擺動性能。
 
絕對編碼器(可選)
絕對值編碼器提供明確的位置信息,可立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用,從而提高了操作期間的效率和安全性。
 
應用領域
斷層掃描,束線系統,晶圓計量,晶圓檢查,測量技術,檢查系統,校準,掃描。
 
由于無摩擦運動,不會形成任何顆粒,這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。
 
三相轉矩電機
無刷
低齒槽轉矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器
多軸/自定義設置
花崗巖制底板和減振系統
 
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